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陜西氣體在微電子、半導體行業中應用
發布日期:2022-09-16 關注次數:1210
    西安工業氣體產品作為現代工業重要的基礎原料,應用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體應用,特別對這些領域的高新技術有重要的影響,是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動,氣體工業產品才能在品種、質量和數量等方面得到飛躍發展。

    氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色,特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產業,凡舉傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機電(MEMS)產業,皆以所謂的半導體制程為產品的制造流程,其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體,而氣體的純度則對組件性能、產品良率有著決定性的影響,氣體供應的安全性則關乎人員的健康與工廠運作的安全。

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